样品要求:
1. 本中心可以提供常规掩模与高阶掩模设计及加工制造服务,其中常规掩模尺寸为2”、2.5”、3”、4”、5”、6”、7”、8”×10”,制备的最小CD线宽为1um,误差在0.25um左右。高阶掩模制备一般使用电子束直写设备,目前可以提供的最小线宽CD为0.25um,误差在50nm以内。
2. 光刻板报价按照CD线宽等级、版图尺寸、版图材质、CD线宽精度、使用设备等不同报价不同。
3. 关于版图中的线条图形,图形如果低于一半面积为圆形或者圆弧且直径为1.5um以内,原有价格*1.5倍;高于一半面积为圆形和圆弧,且直径为1.5um以内,原有价格*2倍。
4. 关于客户设计咨询,对于客户需要我们辅助做设计或者制备版图,原有价格*1.5倍,比较复杂*2倍。
5. 制版流程: 客户提交需求并发版图-->版图评估给予报价-->确认制版并付款-->版图交付。
6. 关于加急服务:常规周期为7个工作日交付; 若加急服务,<3天(原有价格*1.5倍);1天(原有价格*3);
光刻版的制备需要客户提供版图(CAD,GDS或者tdb格式)或者ppt示意说明图,并且标明哪些地方是透光的,哪些地方是不透光的。