样品尺寸:2”,3”,4”,6”及不规则小片最大光强:35mw/cm²@365nm,55mw/cm²@405nm曝光方式:真空,硬接触,软接触,临近最小线宽:0.8μm(真空接触);2.5μm(软接触)均匀性:2% over 6”diameter对准精度:0.5μm@TSA;1μm@BSA

以汞灯为紫外光源，配合复杂的光路系统，实现均匀、高能量和准直的单色光束，对光刻胶进行曝光。同时系统配有对准显微装置(正面和背面)。

2”,3”,4”,6”及不规则小片

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