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电子束光刻EBL 未知
设备型号：
未知
厂 家：
未知
所属地区：
江苏
所属机构：
单 位：
米格实验室
联 系 人：
闫经理
联系电话：
18518552906
联系地址：
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技术参数：
•最小图形尺寸：10nm•套刻精度:40nm•曝光范围〈直径100mm
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