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30kV电子束光刻机 ZEISS
设备型号:ZEISS Sigma300
厂       家:ZEISS
所属地区:浙江
  • 技术参数:

    1支持晶圆: 4英寸及以下2加速电压: 30 kV3最大写场: 2 x 2 mm24最小线宽尺寸:<50 nm5套刻精度: <50 nm6场拼接精度: ≤100 nm

    功能特色:

    微纳结构与器件图形光刻

    样品要求:

    应用领域:

    服务范围:

    收费标准:

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