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步进光刻机 CANON
设备型号：
CANON FPA-3030EX6
厂 家：
CANON
所属地区：
浙江
所属机构：
单 位：
米格实验室
联 系 人：
闫经理
联系电话：
18518552906
联系地址：
我要使用
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规格参数
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技术参数：
1基片尺寸：4/6 英寸2 最小线宽：150 nm3 掩模缩放比：5 : 14 对准精度: ≤40 nm5 对焦精度: ≤100 nm6 步进精度: ≤20 nm
功能特色：
微纳结构与器件图形光刻
样品要求：
应用领域：
服务范围：
收费标准：
面议
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