卡盘大小:300mm;卡盘 XY 轴最大行程:300mm;卡盘 Z 轴最大行程:15mm;显微镜最大行程:50mm;射频探针:20GHZ/40GHZ;有源射频探针:DCto26GHz;
用于12寸、8寸、6寸、4寸、2寸晶片的在片测试,最多可提供8根直流探针和2根20GHZ/40GHZ 射频探针,亦可使用有源射频探针进行内核电路测试。
集成电路;电子器件;
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