1. 系统控制平台：基于 RedHatLinux 操作系统的服务器工作站；测试软件：SmartTestOnlineRev6.3.6； 2. 基本参数：数字通道：64；最大频率：100MHz；边沿定位精度：±150ps；电源电压-8V-+8V；电压分辨率：250uV；最大电流量程：±200mA；电流分辨率：250pA；IDDQ 电流测量：精度≤100nA，分辨率≤10nA；I/O 电平范围：-1V–+6.2V；可编程负载：±24mA

该设备用于超大规模数字集成电路的测试（静态和动态参数）和功能验证，配合探针台进行半导体器件的中测和成测。可承担筛选试验、考核试验等试验的电参数测试。V93000可透过先进的测试方法，确保高准确度和测试品质，在进行高整合度组件的晶圆测试和终测时，可提供高速的单一组件(Single-site)和多组件(Multi-site)测试能力；V93000的测试模块卡属于可升级可扩充类型。测试头使用的单槽模块卡每平方公分包含的功能居业界之冠，有助于缩小测试系统的体积和降低成本。其中，PinScale400─测试接脚可扩充（目前为64），以满足大部分IC和晶圆测试的需求,以及适用于更多种IC的接口。V93000具有数字，模拟，存储器的功能测试和参数测试功能，支持扫描测试,支持IDDQ（静态电源电流）测试，测试系统具有测试速度快，测试精度高，可升级性和可扩展性等优点；

集成电路；晶圆片的高低温电学性能测试；

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