1.测试晶圆 5~8 英寸;2.误差 -2~2um;3.OTS 光学自动对准;4.可编程自动测试;
该设备用于自动集成电路测试,5-8英寸晶圆测试,采用 OTS 光学自动对准,提供优异的移动精度,操作方便灵活,提供 inklessmap、multisite 测试,150度高温测试等。设备配合 HP82000 集成电路测试系统,进行器件的中测;
集成电路;电子器件;
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