测量漏率：R1≤5.0×10-3Pa·cm³/s（He）或5.0×10-8atm·cm³/s（He）

该设备专门针对集成电路等电子元器件进行细检的一套自动化检漏装置，主要用在筛选试验，质量一致性检验的 C 组检验，验收检验和DPA试验。

集成电路；电子器件；

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