1.配备EDS、喷金仪 2.样品仓尺寸：内部直径 365mm，高度 275mm，最大样品尺寸200mm；3.真空度：电子枪优于 10-7Pa，样品仓优于 10-4Pa；4.能谱仪：能量分辨率：129eV 探测范围：B5-Cf98；

粉末样品：粒度小于100nm、无磁性，均匀分散于专用的碳膜或微栅上；薄膜样品：利用双喷电解仪、离子减薄仪或聚焦离子束FIB制备，厚度小于100nm，表面无腐蚀、无氧化、无其它污染。

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