配备了Ga离子源和纳米机械手可进行微纳米尺度样品加工和透射电镜样品制备，配备了EDS、EBSD可进行材料表面微区成分与晶相分析

EDS、EBSD、样品加工制备、微曲成分与晶相分析

样品干净无污染

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