二次电子分辨率: 0.6 nm(加速电压 15 kV)0.7 nm(着陆电压 1 kV)着陆电压:0.01kV, 最大加速电压:20 kV放大倍率:20X ~ 2,000,000X电子束流:1pA ~ 20nA,连续可调配件: 电制冷能谱仪:牛津 Ultim Max, 100mm2
冷场发射扫描电子显微镜能谱仪
电镜技术
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