激光飞秒指标离 子 束 分 辨 率 : 3nm 二 次 电 子 分 辨 率：0.7nm@15kV1.4nm@1kV 离子束放大倍数：300X~500000X电子束放大放大倍数：12X~2000000X 离子束束流强度：1pA~100nA 电子束束流：10pA~40nA离子束加速电压：0.5kV~30kV 电子束电压：0.02kV~30kV飞秒激光加工系统： 最大平均功率 10W@1MHz 最大脉冲能量10μJ@1MHz 脉冲时间小于 350fs 精度 <15μm

飞秒激光聚焦离子束扫描电子显微镜

电镜技术

面议