离子束分辨率：2.5 nm@30kV（采用选边法）离子束束流强度：1pA ~ 100 nA离子束加速电压：500 V ~ 30 kV电子束分辨率：0.6nm@15kV 0.9nm@1kV电子束束流强度：0.8 pA ~ 176 nA电子束加速电压：200 V ~ 30 kV

聚焦离子束电镜 FIB

电镜技术

面议