分辨率: High Vaccum mode 1.0nm @ 15kV WD=2mm放大倍数 :12x ~ 2,000,000x电子枪: 热场发射样品电流:5pA ~ 20nA加速电压: 0.05kV ~ 30kV
二次电子像:高分辨率的样品表面形貌成像背散射电子像:表面形貌成像原子序数衬度成像能谱分析:材料微区成分元素种类与含量分析电子背散射衍射:电子通道花样晶体取向、位向差分析、织构分析、相鉴定
样品必须为固体样品,禁止带挥发性物质的样品进入电镜样品室;粉体样品须固定在导电胶上,并用希尔球吹干净,才可进入电镜样品室;镶样样品必须在干燥箱中干燥,或预抽真空后,才可进入电镜样品室。
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