1 4种成像探测器2 X射线能谱仪3 离子溅射仪4 电子束分辨率：0.7 nm/15 kV5 图像分辨率：32 K × 24 K6 最大放大倍数： ≥1500 kX；最大样品尺寸6吋

精细观测微纳结构微观形貌，可进行化学成分分析和表面损伤分析。

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