1 在线循环加热2 Local CDS自动供液3 循环流量:≥15 L/min4 过滤精度:≤0.2 μm5 H3PO4、BOE、HF 酸槽、预留酸槽6 机械手臂 (H3PO4药液槽、高温QDR槽)7 H3PO4药液槽最高 加热温度:160 ℃
实现SiO2、PSG、Si3N4等介质薄膜的湿法刻蚀工艺
面议