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半自动酸刻蚀机 华林科纳 定制
设备型号:
厂       家:华林科纳 定制
所属地区:浙江
  • 技术参数:

    1 在线循环加热2 Local CDS自动供液3 循环流量:≥15 L/min4 过滤精度:≤0.2 μm5 H3PO4、BOE、HF 酸槽、预留酸槽6 机械手臂 (H3PO4药液槽、高温QDR槽)7 H3PO4药液槽最高 加热温度:160 ℃

    功能特色:

    实现SiO2、PSG、Si3N4等介质薄膜的湿法刻蚀工艺

    样品要求:

    应用领域:

    服务范围:

    收费标准:

    面议

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migelab@labideas.cn
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