仪器参数：加速电压,最高可达300kv。TEM点分辨率80pm，STEM分辨率,82pm，样品室真空，<1*10^-5pa，电子枪真空：<1*10^-6 Pa，TEM放大倍数，50-1,500,000倍。STEM最大放大倍数>=100,000,000倍。

原子像表征开展表面、界面、缺陷等材料原子结构相关研究。研究材料的轻重原子分布和占位，并结合X射线能谱得到材料原子分辨率的成份分布。可探测B以上元素，得到原子分辨率的成份分布，微量元素含量低至0.1at%即可进行表征，可进行能谱的三维成份重构

无磁性的一般透射电镜样品，直径小于3mm，薄区厚度不超过100nm的圆片FIB制备的样品。分散在铜网上的粉末样品。其他透射电镜样品(特殊样品杆）。

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