1. 装备高稳定肖特基场发射枪、Elstar超高分辨场发射镜筒和磁浸没物镜电子光学系统。2. SEM分辨率：0.6 nm@15 kV；1.0nm@1 kV。3. STEM分辨率：0.5 nm@30 kV。4. Ga离子源，Tomahawk HT离子镜筒，FIB分辨率：2.5 nm@30 kV；连续加工精度3 nm。5. 四路气体沉积系统：Pt、C、W、XeF2。6. 探测器种类：ETD、TLD、ICD、MD、DBS、伸缩式STEM探测器BF/DF/HAADF。7. 配备Bruker XFlash 6|60能谱仪。8. 能够分析纵面结构和成分。9. 透射成像，满足部分材料透射测试需求。10. 具有微纳结构表征与加工、自动制备高质量TEM样品功能。

具有微纳结构表征与加工、自动制备高质量TEM样品功能;能够分析纵面结构和成分

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