最高加速电压：200 kV STEM像分辨率：0.08 nm 4探头超级EDS：≤130 eV/100 kcps 分析元素范围：Be - U GIF能量分辨率：≤1.1 eV 最高加速电压：200 kV STEM像分辨率：0.08 nm 4探头超级EDS：≤130 eV/100 kcps 分析元素范围：Be - U GIF能量分辨率：≤1.1 eV

HAADF、EELS、EDS、BF/ADF

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