1）电阻率测试范围：0.1mohm/sq～100Gohm/sq；2）温度范围：两个温度点，室温和77K；3）使用范德堡测试方法，提供四组三方向探针臂进行欧姆接触电极测试；4）磁场：C型永久磁铁,可自动前后移动，自动旋转磁极方向；5）磁场强度：0.5T，精度为标称值±1%；6）磁场一致性：+/-1%(25mm直径范围内)；7）磁极间距：33.4mm；8）电流输出范围:100nA～19.9 mA；1pA～10μA；9）电压测试范围：0V～6V；10）测试模式：AC(213Hz)/DC。相关附件：1）高阻测试夹具：用于检测高电阻（大于106ohm小于1011ohm）样品；2）低阻测试夹具：用于检测低电阻（小于106ohm）样品以及变温测试。

该仪器使用范德堡测试方法测量样品的电阻率、载流子浓度和迁移率。(适用于多种材料，包括硅、化合物半导体和金属氧化物薄膜。)

1）样品尺寸为1cm × 1cm，需要在样品4个角上做好电极，确保为欧姆接触，四个触点必须位于样品的边缘且任何单个触点的接触应至少比整个样品的面积小一个数量级。2）样品必须具有均匀厚度的扁平形状，不得有任何孤立的孔，且样品必须是均匀且各向同性的。

物理

面议