1、电子束分辨率：30kV-0.8nm。 2、镓离子束：30kV-2.5nm。 3、加速电压：最低≤500V；最高≥ 30 kV。 4、样品室二次电子探测器、极靴内探测器 ；可成二次电子和背散射电子像；可伸缩性定向背散射电子探测器；镜筒内高位低损失背散射电子探测器；二次离子探测器；扫描透射探测器，可同时采集BF、DF以及HAADF图像。 5、配有牛津能谱仪，可做元素分析。 6、QUORUM冷冻断裂系统。1、透射样品制作。 2、三维重构数据采集。 3、定点刻蚀。 4、阵列刻蚀。 5、定点沉积。 冷冻FIB

1、配有BSE探头。 2、HAADF成像。 3、EDS元素分析。 4、冷冻断裂低温观察。

1、禁止磁性、有毒、易挥发样品制作。 2、粉末样品。 3、液体样品

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