超高真空：< 3×10-10 mbar - 扫描探针显微镜 STM/AFM - 光电子能谱仪 XPS/UPS - 低能电子衍射 LEED - 程序升温脱附 TPD该设备配备了 6 种表面分析手段， 可在超高真空中进行分析表征(<10-8 mbar)； XPS 能量分辨率 0.6 eV，STM 和 AFM 分辨率可到 0.1 nm，可得到原子分辨率的表面结构图象

表面结构分析，表面元素定量分析，脱附物种定量分析；

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