6英寸 接触、轻敲、摩擦力、侧向力、相位、磁力/静电力、F-Z力曲线、RMS-Z曲线XY方向最大扫描范围：100*100um； Z扫描范围:10um（需要特殊针尖配合现有针尖Z轴扫描范围约1um； 扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm XY移动行程：150*150mm。

6英寸

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