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等离子聚焦离子束 (FIB) 系统/双束显微镜 FEI
设备型号: Helios G4 CX
厂       家:FEI
所属地区:北京
  • 技术参数:

    二次电子分辨率在最佳工作距离时分辨率:0.6nm@15kV;1.2nm@1kV 背散射电子分辨率:1.6nm@15kV 电子束和离子束交叉点、分析工作距离:4.0mm 加速电压:200V-30KV   (电压范围连续可调) 束流强度:1pA   - 100nA

    功能特色:

    样品要求:

    上下表面平整光滑、厚度2mm以下,长宽3mm左右

    应用领域:

    服务范围:

    收费标准:

    面议

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migelab@labideas.cn
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