二次电子分辨率在最佳工作距离时分辨率:0.6nm@15kV;1.2nm@1kV 背散射电子分辨率:1.6nm@15kV 电子束和离子束交叉点、分析工作距离:4.0mm 加速电压:200V-30KV (电压范围连续可调) 束流强度:1pA - 100nA
上下表面平整光滑、厚度2mm以下,长宽3mm左右
面议