最高分辨率可达5″
高分辨摇摆曲线,RSM
半导体材料
适用于半导体外延片材料的测试,Si、GaAs、InP、GaN、Sapphire等的,theta-2theta扫描,联动扫描,摇摆曲线,phi扫描,RSM,mapping
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