2.45ghz风冷微波电源（0～600w可调）/13.56mhz风冷射频电源（0～600/0～300w可调）；石英/铝/陶瓷腔体；最多6路气体，mfc控制；兼容8英寸及以下晶圆；

半导体微纳加工

去除光刻胶 photo-resist stripping；去除残胶 wafer descum；晶圆和衬底的清洁 wafer and substrate cleaning；su-8灰化 su-8 ashing；

面议