加入我们
首页
{{ reversedMessage() }}
当前选择:北京
关于我们 提交需求 加入平台
关注我们
金刚石就像小时候的碳化硅

金刚石具有比碳化硅更大的禁带宽度、更大的热导率、更高的硬度、更高的电子迁移率,有人称是终极半导体材料。



2013年,日本国家先进工业科技研究所、国立材料研究所制备了金刚石基的10kV真空电力开关;

2015年,美国雷神公司制备了金刚石基GaN HEMT;

2014年,日本产业技术综合研究所制备金刚石基250℃ 10kV 5A SBD;

2016年,俄罗斯制备金刚石存储的量子计算机;

2020年,美国佐治亚理工学院、日本明星大学、早稻田大学提出表面激活键合技术(Surface activate bonding),提高金刚石与其他材料的键合。


实际上,根据材料这个词的定义,用实用的物质才是材料。金刚石的这些高强碳碳键的特性,也给他带来了生长的困难。毕竟生长单晶需要先破坏化学键,再形成化学键。


相图如下:


研究的历史如下:

1870年以前,人们就开始开采天然金刚石了;

但是,直到1954年,美国通用电气运用高温高压法(HPHT)合成人造金刚石;

1963年,国内开始合成人造金刚石;

1963年,苏联运用爆炸法合成金刚石,该方法现在国内用来生产90%的金刚石;

1970年,美国通用电气运用高温高压法合成克拉级金刚石(1克拉Ct=0.2g);

1985年,日本住友合成克拉级金刚石;

1996年,美国阿波罗金刚石公司提出CVD法合成金刚石;

1998年,美国卡内基地质物理实验室使用CVD法合成金刚石;

2002年,元素六公司使用CVD法生产金刚石;

2014年,俄罗斯NDT公司运用HPHT生产34Ct的Ⅱa型金刚石;

2015年,国内济南金刚石公司(合作乌克兰国家科学院超硬材料研究所)、中南钻石运用HPHT法生产10Ct的Ⅰb、Ⅱa、Ⅱb型金刚石,尺寸大于10mm*10mm;

近几年,国内上海征世、杭州超然、宁波晶钻运用CVD法,在HPHT法生产的晶片上外延10mm*10mm的Ⅰb、Ⅱa、Ⅱb型金刚石晶片。


基本的生长方法还是高温高压法(HPHT),运用六面顶压机提供高达6.7GPa、1500℃,石墨溶解于金属催化剂中,而后降温析出金刚石单晶。

有点像PVT法生长碳化硅的过程,只是容器充满的熔体,是液态的。更像是液相法生长碳化硅,只是要高压。关键的技术要点集中于:压力、温度、温度梯度、观测与调控、定向、切割。比如单单切割,运用激光能耗太大。

产品如下:


在这基础上,可以使用CVD法生长金刚石。氢气和甲烷被微波加热成等离子体,之后在催化剂的作用下沉积成金刚石。

产品如下:

其中从设备到工艺、杂质、剥离等技术都需要进一步的探索。


金刚石的尺寸,比碳化硅还差得远了。

  • 实验外包
  • 方案定制
  • 仪器预约
  • 技术研发
科研共享方便简单
米格实验室
地址:北京市海淀区丰豪东路9号院中关村集成电路设计园展示中心二楼米格实验室
扫一扫二维码关注
发表评论
相关评论
推荐文章
热烈祝贺第一期中国医工结合创新发展论坛圆满举办!
2022-06-11
3711
AFM检测技术原理
2021-09-02
6859
1000个SEM测试名额免费送!
2021-08-31
5484