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高纯度金属电子束蒸镀(EBE)
周 期:14
地 点:南京市
价 格:面议/小时
电子束蒸镀高纯度高精度的金属薄膜  寄样/送样 
服务描述

1. 我们的蒸镀金属的质量?

我们的电子束蒸镀设备可以提供高纯度和高精度的金属蒸镀。蒸镀仓最高真空度可达10-4Torr,因此可以避免水蒸气以及其他杂质颗粒的掺杂,防止被蒸镀金属氧化,保证蒸镀金属的纯度与靶材一致。蒸发速率和蒸镀厚度的最大精确度可以达到0.001Å,可以根据要求准确控制蒸发过程以及金属薄膜厚度。与样品接触的表面可以达到原子级的粗糙度。

2.EBE的优势?

  电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料,电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发,并成膜。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度,最高可达109w/cm2,加热温度可达3000~6000℃,但是衬底温度可以保持在40℃以下,可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中,可避免坩埚材料的污染,制备高纯薄膜;另外,由于蒸发物加热面积小,因而热辐射损失减少,热效率高。

      无论是制备电极还是金属镀膜,采用EBE蒸镀金属可以实现金属/衬底接触界面原子级粗糙度,改善接触电阻,提高电学性能。

3.  目前可以提供的金属蒸镀的种类,参数和价格

金属种类

厚度

参考价

Au

<5nm按照一个单位厚度收费,之后每多10nm加1单位厚度

500元/单位厚度

Pd

500元/单位厚度

Pt

500元/单位厚度

Ni

300元/单位厚度

Ti

300元/单位厚度

Ag

500元/单位厚度

Al

300元/单位厚度