AFM-IR纳米红外分析系统

1. 样品扫描范围：XY方向50μm×50μm，Z方向>6μm；扫描分辨率：XY 0.2nm；Z:<0.1nm。

2. 样品台X，Y移动范围8mm×8mm，移动精度值200nm；

3. 红外光谱扫描范围：800-3600cm^-1；光谱分辨率：800-2700cm^-1范围1cm^-1; 2700-3600cm^-1范围4cm^-1。红外光谱图像空间分辨率：10nm。

4. 具备红外成像和连续红外光谱采集功能。

5. 纳米热学模块可以实现探针自加热，加热温度可达400℃，加热速率10000℃/s；可以测量100nm分辨率以下的相转变（熔点-温度曲线）。

6. 导电原子力显微镜：最大电流量程2.7μA；电流噪音<10pA。

测试内容：

1. 扫描样品微区的AFM形貌图（接触模式、轻敲模式）

2. 定波数扫描红外图像。

3. 定点采集红外光谱。

4. 纳米热学模式：样品微区纳米尺度热熔点测量（探针加热温度：室温-400摄氏度左右；微区热熔点温度分布图以及热导率分布图。

5. 导电模块：样品微区电流分布图测量

AFM-IR纳米红外分析系统，红外光谱扫描范围：800-3600cm-1；光谱分辨率：800-2700cm-1范围1cm-1; 2700-3600cm-1范围4cm-1。红外光谱图像空间分辨率：10nm。具备红外成像和连续红外光谱采集功能。

1. 最⼤样品尺⼨：15 mm×15 mm×10 mm（⻓宽⾼）。

2. 可检测区域：位于样品中⼼位置10 mm之内。

3. 样品表⾯粗糙度：RMS < 50 nm。

4. 制备基底：⾦基底、红外透光基⽚（如：ZnS、ZnSe、BaF）、云⺟⽚、硅⽚、玻璃⽚。

5. 样品厚度对基底的要求：> 100 nm可使⽤普通基底，<100 nm应使⽤⾦基底或红外透光基⽚。