服务描述
硅光芯片单片集成:
该技术方案有效解决了硅光芯片单片集成激光光源的问题,使得硅基上有源器件与无源器件可与CMOS工艺兼容,而且使得两者光学对准,有效提高了耦合效率和硅光芯片良品率。
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硅光芯片单片集成:
该技术方案有效解决了硅光芯片单片集成激光光源的问题,使得硅基上有源器件与无源器件可与CMOS工艺兼容,而且使得两者光学对准,有效提高了耦合效率和硅光芯片良品率。
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