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服务描述
基于MEMS系统的MSA-600显微式激光测振仪，集多种测量功能于一体，激光多普勒测振仪的激光束和频闪镜通过分束器单元耦合到集成显微镜光学器件的光束路径中，其不仅能测量面内振动和面外振动，还能测量表面形貌，可提供精确的三维动态和静态响应数据。
激光多普勒测振法原理
激光多普勒测振法是目前能够获取最佳位移和速度分辨率的振动测量方法。它能实现皮米级的振幅分辨率，线性度高，在极高频率范围内（当前已超过 1GHz）仍能确保振幅的一致性。测量基于光学干涉和多普勒频移效应，核心是一台高精度激光干涉仪和一台信号处理器。高精度激光干涉仪内激光器发出的偏振光分成测量光路和参考光路，参考光通过声光调制器具有一定频移（F），测量光被聚焦到被测物体表面，物体振动引起测量光的频移（f=2v/λ）。系统收集反射光与参考光汇聚在传感器上，两束光产生干涉，干涉信号频率为F0+F+f，携带了被测物体的振动信息，信号处理器将多普勒频移信号转化为物体振动的速度和位移信号。
频闪法原理
相干扫描干涉法原理
表面形貌分析是基于相干扫描干涉法的原理，使用短相干长度的光源，与内部波束分裂横向分辨率完全相同的表面点作为参考反射镜将对每个相机像素处的干扰信号作出贡献。在高度扫描期间，摄像机检测最大干扰点，并将其用作高度值。
设备参数
面外振动测量（激光多普勒原理）
1、面外振动最大频率为2.5 MHz
2、档位个数：13 个速度档位
3、最大振动速度：0.001 m/s … 10 m/s 与档位有关
4、速度分辨率均值0.005 (µm/s)/√Hz … 1 (µm/s)/√Hz 与档位和频率有关
5、位移分辨率 50 fm/√Hz
面内振动测量模块（频闪法）
1、带宽 1 Hz-2.5 MHz
2、最大速度：> 0.1 m/s -10 m/s（与镜头放大倍数有关）
3、镜头放大倍数：1x-100x
4、位移分辨率5 nm
5、时间分辨率 100 ns (频闪曝光时间); 频闪最大间隔时间 ±40 ns
6、系统输出位移量、波特图、阶跃响应、衰减曲线、轨迹图等
形貌测量模块
1、垂直测量范围：250 µm
2、标称样本增量：80 nm
3、分辨率(RMS)：光滑表面45pm，粗糙表面1.2nm
4、单次测量分辨率(RMS)：光滑表面300pm，粗糙表面14nm
应用
1、微型结构的面外振动（单点振动或两点间的相对振动）：
射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等
2、微型结构的面内振动：
梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动，位移幅值、系统共振、瞬态响应相位变化等
3、微型结构的表面形貌、3D轮廓分析：
梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌，三维形貌、平面度、波纹度、粗糙度、几何和纹理参数测量
项目介绍
样品要求
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