退火

两种退火工艺，快速退火和管式退火炉

快速退火：

最高温度： 1200℃，

最大升温速率 ：50℃/S

晶圆尺寸：8英寸

管式退火：

最高温度： 1200℃，

晶圆尺寸：8英寸

退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。 目的是降低硬度，改善切削加工性;消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向;细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。 准确的说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料。

样品尺寸：8英寸及以下