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服务描述
有刻蚀枪（Ar，Cs，O）和分析枪（Bi）。刻蚀枪刻蚀，刻蚀完，分析枪分析（检测器接收到的离子计数），是刻蚀一层分析一层的，分析枪和刻蚀枪不同，不同的材料所用的刻蚀枪也不一样，根据二次离子飞行到探测器的时间不同来测定离子质量
空间分辨率：0.07µm
采集深度：0.1-2nm
成分检出限：ppm
采集信息：元素H~U，同位素、分子结构、化学键
项目介绍
适合分析无机，有机材料，全元素的定性半定量分析（定量分析需要标样），以及同位素，分子结构，化学键分析，可以进行深度剖析，2D&3D成像
样品要求
样品尺寸1*1cm，厚度小于8mm
结果展示
案例一：TOF SIMS深度剖析
案例二：TOF-SIMS表面分析-微量痕量杂质检测
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