俄歇电子能谱仪 AES

俄歇全谱/窄谱；俄歇表面元素分布图；俄歇深度剖析谱

采集信息Li-U，部分化学态

成分检出限0.1atom%

采集深度0.5-7.5nm

空间分辨率8nm

AES原理：

在高能电子束与固体样品相互作用时原子内壳层电子因电离激发而留下一个空位较外层电子会向这一能级跃迁原子在释放能量过程中可以发射一个具有特征能量的 X 射线光子也可以将这部分能量传递给另一个外层电子引起进一步电离 从而发射一个具有特征能量的俄歇电子。这种出射电子就是俄歇电子（图1）。俄歇电子的跃迁过程能级图如图2所示。检测俄歇电子的能量和强度可以获得有关表层化学成分的定性和定量信息。

AES用途：

1.分析固体材料表面纳米深度的元素（部分化学态）成分组成；可以对纳米级形貌进行观察和成分表征。

2. 分析原材料（粉末颗粒，片材等）表面组成，晶粒观察，金相分布，晶间晶界偏析。

3. 分析材料表面缺陷如纳米尺度的颗粒物、磨痕、污染、腐蚀、掺杂、吸附等。

4. 具备深度剖析功能，表征钝化层，包覆层，掺杂深度，纳米级多层膜层结构等。

AES优势：

AES的分析深度4-50 Å，二次电子成像的空间分辨可达 3纳米，成分分布像可达8纳米，分析材料表面元素组成 （Li ~ U），是真正的纳米级表面成分分析设备。

分析材料表面元素组成 （Li ~ U）

元素检出限：~1 - 0.1 atom %

测试深度：4-50 Å

俄歇电子成像空间分辨率：< 80 Å（空间分辨率较小）

获得样品极表面元素种类、成分及化学态信息，扫描俄歇纳米探针（俄歇电子能谱仪AES）采用电子源入射样品的表面激发出二次电子（用于形貌观察）以及俄歇电子（用于成分分析）。通过配备离子溅射枪可进行材料纵向深度分析。

粉末样品提供20-30mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送

块状/薄膜：长宽厚不超出5*5*3mm

导电性好，磁性需要提前告知技术经理

案例一：俄歇电子mapping，展现了高空间分辨率

案例二：锂电池材料俄歇mapping

案例三：俄歇电子能谱线扫描

案例四：俄歇电子能谱深度剖析