变温XPS测试

1. 原理和仪器仪器：

图1 PHI5000 VersaprobeIII XPS

PHI5000 VersaProbeIII是PHI扫描XPS微探针设备最新产品应用了PHI业界领先的专利扫描X-射线技术和专利双束中和技术，成为更高水平的多功能分析仪器。

2. 最新技术：

新的分析器输入透镜将灵敏度提高了两到三倍。

新的多通道探测器使得元素和化学态成像速度更快。

新的变角分析技术（ADXPS）收集角可达+/-5°改善深度分辨率。

冷热样品台的温度范围得到提高-140℃到+600℃。

新的加热专用样品托可加热至800℃。

样品尺寸<10*15mm。

新的四点电触式冷热样品台可对样品进行原位通电和加热冷却实验。

新设计的紫外光电子能谱UPS可自动点火和输送气体。

经过改善的俄歇SAM技术提供了更高的灵敏度和更好的信噪比，可同时进行REELS分析。原位低能反光电子能谱 (LEIPS) 可在较低电子能量下（对材料无损伤）测试样品的导带信息。

图2：微聚焦的扫描X射线源

3. 测试结果输出：

（1）全谱

（2）精细谱

（3）数据分析（可选）

4. 客户提供：

（1）材料+测试温度；

（2）测试点数量和位置；

（3）数据报告中包含信息；全谱+精细谱原始数据，全谱分析元素成分及含量，高分辨谱定性分析元素的价态；

（4）反馈数据的报告格式和模板；

客户提供

（1）材料+测试温度；

（2）测试点数量和位置；

（3）数据报告中包含信息；全谱+精细谱原始数据，全谱分析元素成分及含量，高分辨谱定性分析元素的价态；

（4）反馈数据的报告格式和模板；