纳米压痕、划痕测试

1. 原理和仪器仪器：

  图1 OPX/CPX 纳米压痕仪、划痕仪

OPX/CPX 纳米压痕仪：

独特的参比环设计-实时消除大部分热漂移，光学显微镜自动控制观测系统，带有反馈系统的载荷加载系统，压入深度的电容性差分测量，计算机软件包，自动进行数据获取、储存、分析等。

OPX/CPX 纳米压痕仪：

金刚石划痕针头，光学显微镜自动控制观测，闭环载荷反馈控制，划痕深度测量，完全符合工业标准ASTMD7187。

2. 设备参数：

OPX/CPX 纳米压痕仪：

载荷范围：0-500mN
载荷分辨率：40nN
最大压入深度：200um
位移分辨率： 0.04nm  

OPX/CPX 纳米划痕仪：

载荷范围：(10uN - 1N)

3. 测试结果输出：

（1）原始数据

（2）样品

4. 客户提供：

（1）材料+压头类型；

（2）测试项目+加载方式参数；

（3）数据报告中包含信息；

（4）反馈数据的格式和模板；

5.适用类别：

纳米压入测试仪主要适用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，测量结果通过载荷及压入深度曲线计算得出，无需应用显微镜观测压痕面积。纳米压入测试仪可被用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

纳米划痕仪可以用于多种薄膜材料的检测分析，例如单层或多层PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性涂层等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物、以及有机材料等。

客户提供：

（1）材料+压头类型；

（2）测试项目+加载方式参数；

（3）数据报告中包含信息；

（4）反馈数据的格式和模板；