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PECVD等离子体增强化学的气相沉积法
实验须知
实验提交后提交内容仅作为平台实验评估使用,不代表一定进行实验。

请在下方模板填写您的实验细节,如果不清楚的实验项可以不用填写,若模板不满足您的需求可以在下方留言说明

联系人
杨老师: 18301325784
  • Q
    是否需要回收样品
  • 样品 1
    样品名称
  • 1.1
    衬底成分
  • 1.2
    衬底尺寸
    * 最大8寸,放一片
  • 1.3
    沉积薄膜种类
    * 如果沉积PSG,BPSG需要给出B,P的浓度(目前最大掺杂浓度为6%)
  • 1.4
    沉积厚度
  • 1.5
    衬底温度
点击添加一组样品
(当您的样品测试要求或测试需求不一样,您可以再增加一组样品)
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实验方式
合计费用约
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