磁控溅射
实验须知
实验提交后提交内容仅作为平台实验评估使用,不代表一定进行实验。
样品要求:
1. 主要用于射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Ru、Si、SiC、NiCr20、Nb等20余种金属及合金薄膜,TaN、TiN等复合材料。
联系人
杨老师: 18301325784