样品要求:
1. 光刻板正负胶情况,一般默认透光部分刻蚀下去,不透光部分留下来,需要说明;
2. 最小线宽及刻蚀深度需要说明,一般刻蚀深度与甩胶厚度比为5:1,最小也要3:1.
3. 基片的材料及是否自行提供基片。
4. 基片的材料,不同的材料刻蚀的参数不同,所需要的时间也是不一样的。
5. 样品要求 :小于4英寸。
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