加入我们
{{ reversedMessage() }}
当前选择:北京
提交需求 加入平台
关注我们
搜索栏

专区平台

内容简介
证书查询
标准/产品/资质
Semi S/F 系列标准内容
SEMI标准认证技术
认证的流程及周期
技术资料清单
相关问题解答

servers/1578041043.png

米格实验室-标准认证服务平台简介

米格实验室平台在实验室共享与技术服务过程中与SEMI中国建立了长期的战略合作关系,半导体制程设备及装置符合 SEMI (国际半导体设备材料产业协会)标准的安全评估已逐渐成国际半导体买家对半导体设备制造商的普遍要求。通过独立、公正的第三方认证机构依据 SEMI 标准进行安全性评估,可以有助于体现产品的高质量、高安全性和品牌信任度。米格实验室SEMI标准认证服务平台的承接单位“北京聚睿众邦科技有限公司”获得了SEMI中国的官方认可和推荐,公司拥有经验丰富的SEMI认证团队,具备SEMI认证标准中涉及的实验室和相关测试设备,能够针对国内外半导体制程设备、工艺及材料等方面提供SEMI S2、S6、S8、S22等一站式认证解决方案服务,帮助国内外客户开展SEMI认证工作并获得证书!


servers/1578324195.png

(米格实验室公众号)


公司地址:北京市海淀区马连洼西山华府56号楼1单元7018室

电  话:185 1855 2906(闫经理)

网  站:www.migelab.com

平台认证标准范围:

标准 SEMI 标准中有材料(M 系列) 、设备(F 系列)、平板显示器(D 系列)、跟踪性(T系列)、半导体制程设备的环境• 健康• 安全(EHS) 由 S 系列规定,平台重点针对S系列标准提供认证解决方案和一站式服务,主要包括S2,S6,S8,S22,S26及F47安规验证及相关符合资质要求的测试验证服务,助您利拓展国内外半导体市场。


平台认证产品类型:

产品清洗机产品、特气柜产品、机械手产品、PVD及磁控溅射产品、离子注入机台、PECVD系列、刻蚀机产品、氧化炉产品、工业冷水机产品、退火炉系列、工业物料搬运系统、长晶炉系列、化学机械减薄与抛光系列、尾气处理系列等。


平台SEMI认证资质:

 servers/1578045121.png

米格实验室平台运营公司“北京聚睿众邦科技有限公司”获得SEMI中国授予的认证资质证书

来源:SEMI中国平台:http://china.semi.org.cn/plus/list.php?tid=84

 SEMI标准及认证内容:

名称

内容

SEMI S1

装置安全标签的安全指南

Safety Guideline for Equipment Safety Labels

SEMI S2

半导体生产装置的环境、健康、安全

Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S3

过程液体加热系统的安全性

Safety Guideline for Process Liquid Heating Systems

SEMI S4

橱柜收纳高压气筒的隔离/分离

Safety Guideline for the Separation of Chemical Cylinders Contained in Dispensing Cabinets

SEMI S5

气体的流量限制设备安全指南

Safety Guideline for Sizing and Identifying Flow Limiting Devices for Gases

SEMI S6

半导体制造设备的通风系统的 EHS 指南

EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S7

评估人员和评估公司的资格

Safety Guideline for Evaluating Personnel and Evaluating Company Qualifications

SEMI S8

半导体生产装置的人机工程学

Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S10

风险评估和过程安全指南

Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process

SEMI S12

工厂设备的去污的环境,健康和安全指南

Environmental, Health and Safety Guideline for Manufacturing Equipment Decontamination

SEMI S13

为半导体设备用户提供的关于环境,健康和安全指南的文件

Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use With Manufacturing Equipment.

SEMI S14

对半导体生产装置的火灾风险评估和降低的安全指南

Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S15

有毒及易燃气体的检测系统评价

Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems

SEMI S16 

半导体设备设计时降低设备生命周期到期对环境影响的标准

Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life 

SEMI S17 

无人驾驶传送系统(UTV)的安全标准

Safety Guideline for Unmanned Transport Vehicle (UTV)System

SEMI S18

硅烷易燃硅化合物的环境、健康和安全标准

Environmental, Health, and Safety Guideline for Silane Flammable Silicon Compounds 

SEMI S19

设备安装、维护和服务人员培训的安全标准

Saty Guideline for Training of Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel 

SEMI S21

工人保护安全标准 Safety Guideline for Worker Protection 

SEMI S22

半导体生产装置的电气设计安全指南

Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S23

半导体制程设备能源,应用和材质的使用功效

Guide for energy, Utilities, and materials use efficiency of semiconductor manufacturing equipment

SEMI S24

多雇主工作区域的安全标准

Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas 

SEMI S25

过氧化氢的储存及处理系统的安全标准

Safety Guideline for Hydrogen Peroxide Storage & Handling Systems 

SEMI S26

FPD制造系统的环境、健康和安全标准

Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System 

SEMI S27

环境、健康和安全报告内容安全标准

Safety Guideline for the Contents of Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation Reports 

SEMI S28

半导体设备内机器人和负载端口的安全标准

Safety Guideline for Robots and Load Ports Intended for Use in Semiconductor Manufacturing Equipment 

SEMI S29

氟化温室气体(F-GHG)降低和排放标准

Guide for Fluorinated Greenhouse Gas (F-GHG) Emission Characterization and Reduction 

SEMI F42

半导体设备电压暂降抗扰度测试方法

Test method for semiconductor processing equipment voltage sag Immunity

SEMI F47

半导体设备电压暂降抗扰度测试规格

Specification for semiconductor processing equipment voltage sag immunity


SEMI标准中涉及的认证技术举例:

(1)SEMI S2 标准涵盖了半导体制造设备的环境、健康及安全条件,是一个综合性的标准。

标准确保设备本身安全及对环境、对人员的安全性,认证中综合考虑了与设备相关的使用者文件、危险性警告标志、安全连锁装置、紧急停机、电气安全、消防安全、化学物质加热槽、人体工学、危险能量隔离、机械设计安全、地震保护、自动机械设备、环境因素、排气、化学品安全、游离辐射安全、非游离辐射安全、激光安全、噪音等内容。

servers/1578100471.png


(2)气体示踪测试技术:

    SEMI S6 半导体制造设备的通风系统的 EHS 指南对含 HPM 或易燃易爆气体的半导体装备,考量通风效率,采用气体示踪测试技术


 

servers/1578100508.png



(3)电压暂将测量技术:

SEMI F47 针对电压暂降,考量设备电压波动的耐受力

servers/1578100538.png


(4)认证工作现场与认证设备:

servers/1578100599.png


servers/1578100635.png



servers/1578100659.png

米格实验室关于SEMI S系列标准认证的流程

servers/1578100703.png

我们针对不同产品,会有不同的认证周期,一般从6周到16周不等,要根据客户产品的复杂情况及工程师的排期,建议客户提前进行咨询并预约时间。


认证技术资料清单:

根据SEMI标准要求,需要针对厂家信息、产品信息、说明书、电气图、电路图等内容详细准备,同时需要有英文版资料。

工程师收到后,出具初步的认证方案及计划,同时在现场收集资料之后,客户提供的信息将在报告撰写阶段作为参考。

内容包含且不限于:

1. 客户信息(中英文):

公司名称、地址、联系人、电话、Email等信息;

2. 产品信息(铭牌):

生产厂名、地址、商标、产品名称、型号、生产序号、生产日期、电气规格等。

3. 产品说明书,应包含内容:

(1)用户手册(基本信息、配电要求、物理环境、化学品、警示标志、维修保养、安全防护、安全锁、厂家信息等)

(2)安装资料(安装示意图、电源线及各导线规格及装备说明、需要客户提供的辅助关键配件、安装环境和场地要求等)

4. 设备图纸:

电气原理图、系统结构图、气体/液体路径图、通风系统工程图、界面操作指南等相关图纸。

5. 关键物料清单

i.系统材料清单

ii.关键元器件清单(器件名称、型号、规格、认证号、生产厂家), 见关键元器件清单表;

iii.针对环境基本资料(说明书中已有,可不单独提供),包含设备消耗的能量描述, 遵从物质/质量守恒基本公式原理、非有意的化学泄漏,如导气管,加热腔有微小泄漏时,能否被监测到,如何处理,用什么来监控的…

iv. 废气排放的监测,处理方法建议

6. Interlock 清单—Interlock List(说明书中已有,可不单独提供)

注:所有资料均必须提供中、英版,同时考虑目标客户母语,可以提供客户要求的语言版作为备份资料;英文是认证评估的必不可少的部分;(资料如无特殊要求的,则可以由各种示意图、照片、表格、数据表以及文字描述等方式提供详细的阐述)