(离子光学系统)分辨率:≤ 3 nm@30kV (电子光学系统)分辨率:≤ 0.7 nm @15 kV 气体源:☒C ☒Pt ☒Water ☒XeF2
无磁性,小尺寸 最大样品尺寸: 8英寸
☒EBSD ☒EDS ☒GIS ☒STEM ☒BSD
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