技术指标： 仪器配置：四通道、八块分光晶体                （其中包括用于测试B、C、N、O等轻元素的LDE1H、LDE2H晶体）电 子 枪： LaB6分 辨 率：5nm（SEI）加速电压：0.2-30kV探针束流：10-12-10-5A放大倍数：40-30万倍元素范围：B(5)-U(92)

功能特色： 该仪器可用于样品中微区元素的定性、定量分析。可测试元素的范围为B-U。波谱仪配备四通道、八块晶体（包含测试轻元素的两块晶体），可进行图像观察、元素定性、定量、线扫描、面扫描等测试。测试灵敏度、分辨率、准确度等指标都高于通常的能谱仪。

样品要求： （1）固体，表面平整，厚度均一（2）测试面需要进行抛光处理（定量分析时尤为重要）（3）样品具有良好的导电性，不导电样品需提前喷碳。（4）样品无磁性。（5）样品任一方向尺寸小于30mm，高度小于15mm 预约说明： （1）普通用户：周一至周五开放，每天分8:00-10:00，10:00-12:00，13:00-15:00，15:00-         17:00四个时间段预约，按预约时间计费。        高级用户：7X24小时开放。高级用户需具备独立上机资格，具体请咨询仪器管理员。（2）取消机时需提前48小时。（3）不导电样品至少提前1个工作日送到实验室喷碳。

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