1.减薄角度： 10°到-10°，每只离子枪可独立调节； 2.样品旋转：1～6 rpm，离子枪固定，样品台旋转； 3.离子枪束能量：0.1keV～6.0 keV，具有低能量枪功能； 4.离子束调制：双束调制系统, 可进行< 1°的单、双面减薄。

制备透射电子显微镜可观察的样品。

面议