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6寸碳化硅衬底资质测试
待解决
需求分类:形貌分析
解决目标:寻找解决商
发布日期:2022-09-23
标准附件:


2.1颗粒检测:采用无损检测方式进行检测。

2.2表面划痕长度:采用无损检测方式进行检测。

2.3面型检测:检测衬底TTV、LTV、Bow、Warp。

2.4表面粗糙度Ra(10μm×10μm):参考《GB/T 32189-2015氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》。

2.5微管密度检测:采用无损检测方式进行检测。

2.6电阻率:导电型衬底采用涡流法非接触电阻率测试仪对衬底进行测试,半绝缘型衬底采用电容法进行非接触式测试,测量结果取平均值。

2.7直径检测:采用长爪数显游标卡尺对衬底直径进行直接测量,变换不同位置,测试5次,测量结果取平均值。

2.8螺位错密度(TSD):采用无损检测方式进行检测。

2.9样品颗粒检测、表面划痕长度、面型检测进行刻字号背面(SI面)检测

每一项都需要出具一份报告,需要CNAS

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