仪器简介：该系统在SEM-FIB系统的基础上配备了拉曼（Raman）、飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）、能谱仪（EDS）、背散射电子衍射仪（EBSD）、阴极荧光（CL）、扫描透射探测器（STEM）以及多种加工、分析型附件，能够更加全面地对样品进行多角度原位分析。

主要应用：可用于金属、无机非金属、陶瓷、高分子、生物、碳材料、锂电池、矿物等各类样品的微观形貌观察和成分分析，可以进行微纳米尺度加工（切割、焊接、沉积等），以及金属的晶相、碳元素的各种同素异构体的物相分析等